INFICON SKY CDG045D Capacitance Diaphragm Gauge

Манометры INFICON SKY CDG045D — лучший выбор для высокоточного измерения и контроля общего давления.

Датчики CDG045D контролируются по температуре 45 °C. для превосходной стабильности и повторяемости сигнала. Они доступны для полномасштабных диапазонов от 50 мТорр до 1000 Торр, со всеми распространенными типами фланцев и интерфейсами полевой шины и обеспечивают линейный сигнал давления от 0 до 10 В, независимый от типа газа. В емкостных манометрах INFICON используется керамическая диафрагма из сверхчистого оксида алюминия, устойчивая к коррозии.

Преимуществом керамического датчика является лучший сигнал стабильность, более быстрое восстановление из атмосферы, короткое время прогрева и исключительный срок службы. INFICON CDG — это высококачественные и экономичные датчики давления для требовательных вакуумных приложений.

Также доступен с цифровым интерфейсом Profinet® и токовой петлей 4 … 20 мА!

Преимущества

Снижение CoO (стоимость владения), ускорение прогрева на 50 %, энергоэффективность и низкое энергопотребление

Простота интеграция, широкий выбор полных шкал, фланцев и интерфейсов, стандарт с двумя заданными точками

Легкая команда обнуления одним нажатием кнопки или дистанционным сигналом, регулировка смещения нуля< /font>

Диагностический порт для быстрого обслуживания

Два года гарантии, более длительный срок службы время благодаря усовершенствованной концепции нагрева и защите манометра

Нет длительной повторной калибровки благодаря превосходной стабильности и повторяемости сигнала даже в суровых плазменных условиях

Соответствие и стандарты: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Типичные области применения

Травление, CVD, PVD и другие процессы производства полупроводников

Химические и коррозийные вакуумные процессы

Общие тонкопленочные и вакуумные процессы

Опорный датчик для мониторинга испытаний приборы в соответствии с международными стандартами

Передача стандарта для измерений прослеживаемости