INFICON PPG570 Pirani Piezo combination gauge

Новый комбинированный пьезо-манометр INFICON Pirani (PPG570) основан на самой передовой сенсорной технологии MEMS (микроэлектромеханических систем), которая также используется в нашем манометре PPG550 «от банкомата до среднего вакуума». .

Что отличает PPG570 от PPG550, так это дополнительные установлен датчик ATM, который позволяет использовать PPG570 в классических приложениях Load-lock. Например, в полупроводниковой промышленности или в любых других вакуумных приложениях, где важно точное измерение давления относительно атмосферного давления окружающей среды.

Комбинированная технология Пирани/Пьезо, миниатюризированная в Процесс MEMS позволяет создать очень маленький и, следовательно, компактный датчик, что позволяет сохранить очень небольшую общую высоту измерительного устройства.

Помимо преимущества небольшой высоты , Pirani, основанный на технологии MEMS, также предлагает преимущество более глубоких и точных измерений в диапазоне высокого напряжения, чем классический Pirani. В сочетании с пьезодатчиком MEMS, установленным на том же фланце, манометр Пирани становится настоящим вакуумным манометром широкого диапазона, расширяя диапазон измерения далеко за пределы обычных 1000 мбар, в том числе и в сторону атмосферы. При этом пьезодатчик MEMS обеспечивает независимое от типа газа измерение давления в диапазоне 2...1333 мбар. Еще одним преимуществом упомянутых технологий является повышенная устойчивость к ускорениям и вибрациям.

И последнее, но не менее важное: новый INFICON PPG570 может использоваться для прямой замены так называемого MKS Instruments MKS901P «MicroPirani™ и пьезоэлектрического датчика вакуумного давления». PPG570 имеет такое же расположение разъемов/контактов, аналоговый выход и совместимость с протоколом цифровой связи RS232/485.

Преимущества

Независимо от типа газа при давлении выше 2 мбар – обеспечивает безопасную вентиляцию с любая газовая смесь

Высокая точность и воспроизводимость в атмосфере – для надежного и быстрого определения атмосферного давления

Измерение атмосферного давления

До 3 твердотельных реле

Универсальная ориентация монтажа – обеспечивает свободу проектирования при проектировании инструмента

Выбираемый аналоговый выходной сигнал для легкой интеграции системы

Возможность прямой замены MKS901P «MicroPirani™» и пьезо-замка вакуумного давления Преобразователь».

Соответствие стандартам: CE, EN, UL, CSA, RoHS

Типичные применения

Применения полупроводниковой блокировки нагрузки

Использование в аналитическом оборудовании / массовые септрометры

Физическое осаждение из паровой фазы

Физическое осаждение из паровой фазы