INFICON IE414 high-end vacuum sensor

IE414 и IE514 — это высококачественные датчики вакуума, основанные на эффекте ионизации горячего катода. IE414 представляет собой манометр Баярда-Альперта, а IE514 основан на принципе экстрактора. Эти пассивные датчики объединяются и управляются контроллером вакуумметра IM540.

Благодаря модуляции тока катодной эмиссии , диапазон измерения IE414 охватывает более 10 десятилетий от 10–2 мбар до 10–11 мбар. Принцип экстрактора позволяет IE514 достичь нижнего предела измерения 2×10-12 мбар благодаря внутреннему снижению эффектов рентгеновского излучения и десорбции ионов. Измерительные головки IE414 и IE514 предназначены для вакуумных систем с низким выделением газов и могут подвергаться воздействию экстремально высоких температур (400 °C). Комплект термостойких кабелей измерительной головки также рассчитан на высокую температуру нагрева, превышающую 200 °C (250 °C на фланце датчика).

Преимущества

Высокая точность измерений благодаря индивидуально калиброванной сенсорной системе

Сменный катод

Сверхвысокая температура отжига до 400 °C

IE414

Принцип измерения Баярда-Альперта

Диапазон измерения до 2×10-11 мбар

Модуляция ток катодной эмиссии (в сочетании с контроллером вакуумметра IM540)

IE514

Принцип чувствительности экстрактора

Нижний предел измерения, до 2×10-12 мбар

Значительное снижение эффектов рентгеновской десорбции и ионной десорбции

Типичные применения

Научные и научно-исследовательские приложения, требующие точного измерения вакуума в диапазоне сверхвысокого вакуума и высокотемпературного отжига

Рабочие единицы

Контроллер вакуумметра IM540