Анализатор остаточных газов INFICON Transpector CPM 3
Производительность, надежность и универсальность
INFICON Transpector CPM является ведущим на рынке анализатором остаточных газов (RGA). ) система мониторинга процессов в полупроводниковой промышленности уже более десяти лет. Теперь Transpector CPM 3 обеспечивает лучшую в отрасли скорость и чувствительность измерений благодаря проверенной на практике системе накачки и впуска, интегрированной с новым датчиком и электроникой. Transpector CPM 3 — идеальный монитор процессов RGA для новых и уже существующих полупроводниковых процессов, таких как ALD, CVD, PVD и травление.
Transpector CPM 3 обеспечивает проверенную рентабельность инвестиций для наших партнеров за счет:
< br>
Лидирующая в отрасли технология измерений
Надежная и адаптивная архитектура
Надежная и адаптивная архитектура
Простота обслуживания
Превосходная поддержка продуктов
Функции
Анализатор остаточных газов для ALD, травления, CVD и 300-мм дегазации — обеспечивает процесс в режиме реального времени мониторинг и анализ
ALD-Ready со скоростью измерения 1,8 мс на точку (555 точек в секунду)
< font size="3">Проверенная на практике долговечность и надежность в самых требовательных приложениях CVD и травления
Интеграция приложений — Transpector CPM становится мощным средством мониторинга процессов и инструмент диагностики при интеграции с программным обеспечением FabGuard и поддержке экспертами мирового класса INFICON
Компактный размер — позволяет легко интегрировать в производственное полупроводниковое оборудование
Hexblock™ с тремя входами давления и уменьшенной площадью поверхности для минимизации поверхностных реакций и времени срабатывания
Мембранный емкостный манометр (CDG) — CDG позволяет пользователю контролировать технологическое давление и автоматически защищать систему от скачков давления.
Автоматическая калибровка — обеспечивает долгосрочная стабильность и точность данных при согласовании датчиков и инструментов друг с другом
