Оптический газоанализатор INFICON Quantus HP100

Газоанализатор INFICON Quantus HP100 основан на технологии самоплазменной оптической эмиссионной спектроскопии (SPOES) и предназначен для обнаружения утечек в реальном времени, обнаружения конечных точек и мониторинга процессов при производстве полупроводников. Quantus HP100 обладает превосходной чувствительностью, компактным форм-фактором и предлагает широкий диапазон рабочего давления без дорогостоящих насосов, что делает его хорошо подходящим для мониторинга и защиты процессов в большинстве полупроводниковых приборов.

Характеристики

Рабочий диапазон: 1 Торр – 450 Торр для аргона и 1 Торр – 120 Торр для азота (зависит от других газов)

Низкие пределы обнаружения <1 ppm

Простая установка с использованием стандартного соединения KF25< /font>

Быстрая выборка (максимум 20 Гц)

Малый размер (В x Ш) x Д): 6,4 x 6,0 x 8,3 дюйма [162 x 153 x 210 мм]

Не требует особого обслуживания, насосы и расходные материалы не требуются

Удобная сменная плазматическая ячейка

Экспертная поддержка по всему миру для удовлетворения ваших конкретных технологических потребностей

шрифт>