Анализатор остаточных газов INFICON Transpector XPR 3+

Отслеживание и контроль быстрых изменений процессов

Новый анализатор остаточных газов Transpector XPR 3+ (RGA) обеспечивает лучшую в отрасли скорость измерений для мониторинга и контроля быстрых изменений процесса, необходимых для современного производства полупроводников и дисплеев. Transpector XPR 3+ идеально подходит для мониторинга утечек воздуха, чистоты газа, содержания углеводородов и загрязнений на месте. Измерения в реальном времени с помощью Transspector XPR 3+ обеспечивают гораздо более эффективную защиту продукта по сравнению с периодическими испытаниями на скорость нарастания.

< /span>

Повышение прибыльности за счет увеличения времени безотказной работы инструмента

Transpector XPR 3+ RGA — это проверенный на практике квадрупольный датчик с двойным источником ионов для задач распыления в диапазоне давлений. Никакого оборудования для преобразования давления не требуется, компоненты с длительным сроком службы, а также возможность быстрого обнаружения и диагностики проблем в совокупности обеспечивают максимальную доступность инструмента, производительность и производительность продукта. Датчик может работать непрерывно от высокого вакуума до 20 мТорр без необходимости использования насосов. Камеры двойного источника ионов Transpector XPR 3+ спроектированы так, чтобы ограничить покрытие, чтобы сохранить чувствительность источника ионов и продлить среднее время обслуживания датчика.

Преимущества

Преимущества

Защита пластин и панелей в режиме реального времени благодаря высокочувствительному обнаружению утечек воздуха и загрязнений от высокого вакуума до технологического давления PVD

Максимизируйте эффективность ПМ и время безотказной работы инструмента благодаря быстрой и надежной аттестации камеры

Минимизируйте совокупную стоимость владения за счет более длительного срока службы, устойчивая к загрязнениям конструкция с двойным источником ионов; контролирует до 20 мТорр без необходимости использования насосов. Вариант EM с низким давлением представляет собой экономичную альтернативу.

Бесшовная интеграция с оборудованием и надежный запрет за счет мощного сбора и синхронизации данных

Расширьте уникальные производственные возможности за счет индивидуальной оптимизации рецептов

Защищает критически важные технологические потребности благодаря немедленному реагированию экспертов на месте

Типичные области применения

Модули процессов PVD и напыления