Система анализа газов INFICON Transpector MPH

Постоянно растущие цены на кремниевые пластины и спрос на готовую продукцию означают, что утилизированные пластины стоят дороже, чем когда-либо прежде. Таким образом, понимание вашего процесса и мониторинг дефектов стали гораздо более важным приоритетом в центрах по производству полупроводников. Система газового анализа Transpector MPH предназначена для того, чтобы разблокировать ваш процесс, обеспечивая лучшую в отрасли производительность для всех ваших приложений газового анализа, чтобы помочь максимизировать выход стружки и минимизировать время простоя инструмента. В сочетании с низкой общей стоимостью владения и высоким средним временем наработки на отказ Transpector MPH помогает вашей прибыли больше, чем любой другой анализатор остаточных газов (RGA) на рынке.

< font size="3">

INFICON использовала свой опыт в области оборудования для управления процессами газового анализа для создания RGA с ведущим в отрасли сбором данных скорость, минимальное обнаруживаемое парциальное давление и соотношение сигнал/шум. И все это без ущерба для надежности, которую вы ожидаете от газоанализаторов INFICON Transpector.

Особенности

Макс. Скорость передачи данных 1,8 мс на точку для аналогового сканирования и выбранных пиков

подключение TCP/IP Ethernet

Двойные нити накала

Заменяемый на месте электронный умножитель

Комбинированный комплект нити анода, катода и отражателя

Более короткие датчики минимизируют занимаемую площадь

Динамический диапазон девяти десятилетий

MDPP <2E-15 Торр (100 а.е.м.)

MDPP ="3">Увеличенное соотношение сигнал/шум

Взаимозаменяемые датчики и электроника

Датчики собираются, тестируются и упаковываются в двойные пакеты в чистом помещении.

Соответствует RoHS