Анализаторы остаточных газов Leybold LEYSPEC

Семейство анализаторов остаточных газов (RGA) LEYSPEC обеспечивает простое и интуитивное управление.

< /font>

Нажатием кнопки вы можете отобразить парциальные давления основных газов, а если в вашем процессе используется дополнительный газ, вы можете назначить его запасному канал отображения.

Из-за достижимых высоких температур выпекания LEYSPEC идеально подходит для использования в сложных условиях высокого и сверхвысокого вакуума.

Принцип работы

Измерительная ячейка представляет собой ионизационный вакуумметр с горячим катодом. Электроны испускаются из горячих нитей и ускоряются к источнику за счет электрического смещения. Быстро движущиеся электроны сталкиваются с молекулами газа, вытесняя электроны и ионизируя их. Положительные ионы газа подают свой ток в коллектор отрицательно нагруженных ионов. Ионный ток пропорционален давлению. Чем больше ионов, тем выше ионный ток. Квадрупольная решетка состоит из четырех стержней из нержавеющей стали. На все стержни подается постоянный ток и напряжение высокой частоты. Это создает сложное магнитное поле. Изменяя напряжение, можно управлять магнитным полем.

Получающаяся вибрация позволяет ионам только определенного масса «пролетит» через него и достигнет части обнаружения:

Ионы с соответствующим соотношением массы к заряду (m/e) будут колебаться по стабильной трехмерной траектории через полюса.

Ионы с неправильной m/e выйдут из-под контроля и столкнутся с полюсами

Ионы поступают в коллектор ионов и создают выходной ток, который является мерой относительного содержания ионов, прошедших через фильтр. Затем ионный ток или парциальное давление в зависимости от отношения m/z отображаются на устройстве или в программном обеспечении.

< /p>

Основываясь на описанном принципе работы, LEYSPEC RGA проверяет чистоту газа, определяя и отображая состав газа. Это позволяет LEYSPEC выявлять газовые примеси и осуществлять дальнейший контроль процессов и оборудования для общей оптимизации производительности и выхода процесса.

Устройство «все в одном» для простого и интуитивно понятного управления

Благодаря высокой Чувствительность анализатора остаточных газов LEYSPEC позволяет обнаруживать очень мелкие следы загрязняющих веществ или технологических газов. В ассортименте продукции есть решения на 100, 200 и 300 а.е.м. Возможна температура отжига до 300 °C для работы в суровых условиях.

LEYSPEC может управляться интуитивно с помощью собственного программного обеспечения и встроенного блока управления и отображения. Простой анализ остаточных газов возможен без подключения к компьютеру. Основные газы можно отобразить нажатием кнопки, а для отображения дополнительных газов доступен запасной дисплей.

Они также подходят для сложных процедур испытаний и анализа остаточных газов в системах высокого вакуума.

С предустановленными функциями LEYSPEC, такими как проверка на утечку гелия, предупреждения и уровни ошибок для выбираемых газов, а также функция дегазации. после запуска или вентиляции этот анализатор остаточных газов станет отличным дополнением к любой системе.

Корзина LEYSPEC

Мобильная система анализа остатков

Тележка LEYSPEC оснащена полностью интегрированной дифференциальной насосной системой, обеспечивающей максимальную гибкость и простоту использования.

Это полностью независимая насосная система, которая легко адаптируется к широкому диапазону измерений. задач, с быстрой оперативной готовностью и работоспособностью при различных нагрузках.

Наши решения:

Независимая насосная система с SCROLLVAC 7 plus и TURBOVAC 350 i

Встроенное управление процессом для быстрой и легкой работы

Простое и интуитивно понятное программное обеспечение для LEYSPEC RGA< /font>

Полностью интегрирован в независимо передвижную тележку

Игольчатый клапан сверхвысокого давления для гибкой работы при различных уровнях давления вплоть до атмосферного