Оптический плазменный датчик INFICON Augent

Оптический плазменный датчик INFICON Augent — это компактное и интеллектуальное решение для мониторинга вакуума.

Augent объединяет две сенсорные технологии в одном компактном устройстве для контроля типа газа от 1 x 10-7 до 5 мбар и для одновременного измерения общего давления в атмосфере от 1 x 10-7 мбар. Augent защищен встроенным датчиком Пирани, отключающим плазму при давлении выше 20 мбар. Принцип быстрого оптического измерения позволяет обнаруживать практически любой тип газа.

< font size="3">Преимущества

Высокая скорость обнаружения утечек позволяет проводить проверку герметичности камеры

Повышение производительности и выхода

Длительный срок службы, отсутствие перегорания нити, защита от проникновения воздуха

Выдерживать химические процессы

Умный алгоритм для легкой интеграции

Компактный дизайн и небольшая занимаемая площадь

Надежный и быстрый запуск

Типичные применения

Проверка герметичности камеры, более быстрое испытание RoR (скорость нарастания)

Проверка утечек для обнаружения внутренних утечек в линиях подачи газа

Контроль конечной точки в режиме реального времени

< font size="3">Контроль типа и концентрации газа