INFICON SKY CDG160D Capacitance Diaphragm Gauge

Высокотемпературные манометры INFICON SKY CDG160D — лучший выбор для точного измерения и контроля общего давления.

Датчики CDG160D контролируются при температуре 160 °C. для превосходной производительности в сложных полупроводниковых и плазменных процессах. Они доступны для полного диапазона измерения от 1 Торр до 1000 Торр, со всеми распространенными типами фланцев и интерфейсами полевой шины и обеспечивают линейный сигнал давления от 0 до 10 В, независимый от типа газа. В емкостных манометрах INFICON используется керамическая диафрагма из сверхчистого оксида алюминия, устойчивая к коррозии.

Преимуществом керамического датчика является лучший сигнал стабильность, более быстрое восстановление из атмосферы, короткое время прогрева и исключительный срок службы. INFICON CDG — это высококачественные и экономичные датчики давления для требовательных полупроводниковых, плазменных и вакуумных приложений.

Преимущества

Снижение CoO (стоимость владения), ускорение прогрева на 50 %, энергоэффективность, низкое энергопотребление

Простая интеграция, широкий выбор полные шкалы, фланцы и интерфейсы, стандарт с двумя заданными точками

Легко нажатием одной кнопки или дистанционной командой обнуления, регулировка смещения нуля

Диагностический порт для быстрого обслуживания и ремонта

Два года гарантии, более длительный срок службы благодаря концепции обогрева и защита манометра

Не требуется длительная повторная калибровка благодаря превосходной стабильности и повторяемости сигнала даже в суровых плазменных условиях

< font size="3">Соответствие и стандарты: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Типичные области применения

Химические и коррозионные высокотемпературные процессы< /p>

Общие тонкопленочные и вакуумные процессы, требующие защиты манометра