INFICON PPG550 Pirani Piezo combination gauge
Новый комбинированный датчик INFICON Pirani Piezo (PPG550) основан на самой современной сенсорной технологии MEMS (микроэлектромеханические системы).
Комбинированная технология Пирани/Пьезо, миниатюризированная в процессе МЭМС, позволяет создавать очень маленькие и, следовательно, экономящие пространство датчик, что позволяет поддерживать очень небольшую общую высоту измерительного устройства.
Помимо преимущества небольшой высоты, Pirani, основанный на технологии MEMS, также предлагает преимущество более глубоких и точных измерений в диапазоне высокого напряжения, чем классический Pirani. В сочетании с пьезодатчиком MEMS, установленным в том же фланце, манометр Пирани становится настоящим вакуумным манометром широкого диапазона, расширяя диапазон измерения далеко за пределы обычных 1000 мбар, в том числе и в сторону атмосферы. При этом пьезодатчик MEMS обеспечивает независимое от типа газа измерение давления в диапазоне 2...1333 мбар. Еще одним преимуществом упомянутых технологий является повышенная устойчивость к ускорениям и вибрациям.
< font size="3">И последнее, но не менее важное: новый INFICON PPG550 можно использовать для прямой замены так называемых MKS910 «DualTrans™ MicroPirani™ — абсолютных пьезо-вакуумных датчиков давления», а также MKS925 «Micro Pirani™ датчиков вакуумного давления». ». Inficon предлагает те же разъемы/назначение контактов, аналоговый выход и совместимость с RS232/485.
Преимущества
Независимо от типа газа при давлении выше 2 мбар – обеспечивает безопасную вентиляцию с любая газовая смесь
Высокая точность и воспроизводимость в атмосфере – для надежного и быстрого определения атмосферного давления
Универсальная ориентация монтажа – обеспечивает свободу проектирования при проектировании инструмента
Выбираемый аналоговый выходной сигнал для легкой интеграции системы
Цифровые интерфейсы RS232/RS485
Соответствие и стандарты: CE, EN, UL, CSA, RoHS < /font>
Возможна прямая замена MKS910 «DualTrans™ MicroPirani™ — абсолютные пьезо-вакуумные преобразователи давления», а также MKS925 «Вакуумные преобразователи давления Micro Pirani™». DualTrans™ MicroPirani™ — зарегистрированные торговые марки MKS Instruments, Андовер, Массачусетс
Соответствие и стандарты: CE, EN, UL, CSA, RoHS
Типичные области применения
Использование в аналитическом оборудовании/масс-спектрометрах
Физическое осаждение из паровой фазы
Измерение на линии
< font size="3"> Засыпка газом
