INFICON Ion Reference Gauge IRG080

Ионный эталонный манометр IRG080 — это первый в своем роде датчик вакуума, разработанный для точного измерения общего давления в вакуумных системах. Основанный на инновационной концепции ионизационного вакуумметра (горячий катод испускает электроны, движущиеся по прямому пути в чашку Фарадея), IRG080 подходит в качестве эталонного стандарта в диапазоне от 10-8 мбар до 10-4 мбар.

IRG080 обеспечивает непревзойденную точность до 1 %, предсказуемая чувствительность к газу с очень небольшим разбросом, очень хорошая краткосрочная повторяемость и воспроизводимость. Манометр является идеальным решением для метрологии и калибровки. IRG080 подключается и управляется с помощью блока дисплея и управления IRC081.

Преимущества

Разработано для применений, требующих высокой точности измерений в диапазоне высокого и сверхвысокого вакуума.

Конфигурация электродной системы в соответствии со стандартом ISO/WD TS 6737

Истинное давление для всех видов газа благодаря предсказуемой относительной чувствительности к газу с небольшой неопределенностью

Стабильная эмиссия электронов и отсутствие влияния электростатического разряда или рентгеновского излучения

Воспроизводимость и удобство транспортировки

< font size="3">Выпекание при температуре 165 °C (с термостойким кабелем) или до 400 °C без соединительного блока

Мю-металлический промежуточный материал доступен элемент для магнитного экранирования.

Рабочие единицы

Ионный эталонный манометр Контроллер IRC081

Эталонный стандарт

Точность ниже 1% для N2

Предсказуемая чувствительность к газу с очень небольшим разбросом (<1,5%)

Верно измерение общего давления

Очень хорошая кратковременная повторяемость (<0,06%) и воспроизводимость (<1%)

Принцип измерения

Электроны покидают катод (левая сторона), ускоряются анодом до 200 эВ, фокусируются коллектор ионов. Длина пути электрона хорошо охарактеризована, поэтому чувствительность датчика предсказуема. Ионы, генерируемые электронами внутри анодной сетки, ускоряются к коллектору и измеряются как ток. Ионы, образующиеся за пределами анодной сетки, улавливаются дефлектором.

IRG080_Принцип измерения

Один полный пакет

Интерфейс управления и отображения через контроллер ионного эталонного манометра IRC081

Пользователь может контролировать параметры манометра IRG080

Настройки и значения измерений отображаются в программном обеспечении пользовательского интерфейса IRC081 (LabVIEWTM)

Функция регистрации данных и параметров