INFICON SKY CDG100D Capacitance Diaphragm Gauge

Манометры INFICON SKY CDG100D — лучший выбор для точного измерения и контроля общего давления.

Датчики CDG100D контролируются при температуре 100 °C. для превосходной производительности в сложных полупроводниковых и плазменных процессах. Они доступны для полномасштабных диапазонов от 100 мТорр до 1000 Торр, со всеми распространенными типами фланцев и интерфейсами полевой шины и обеспечивают линейный сигнал давления от 0 до 10 В, независимый от типа газа. В емкостных манометрах INFICON используется керамическая диафрагма из сверхчистого оксида алюминия, устойчивая к коррозии.

Преимуществом керамического датчика является лучший сигнал стабильность, более быстрое восстановление из атмосферы, короткое время прогрева и исключительный срок службы. INFICON CDG — это высококачественные и экономичные датчики давления для требовательных полупроводниковых, плазменных и вакуумных приложений.

Преимущества

< font size="3">Снижение CoO (стоимость владения), на 50 % более быстрый прогрев, энергоэффективность, низкое энергопотребление

Простая интеграция, широкий выбор полномасштабных, фланцев и интерфейсов, стандартно с двумя заданными точками

Легко одним нажатием кнопки или дистанционной командой обнуления, регулируемое смещение нуля< /p>

Диагностический порт для быстрого обслуживания и ремонта

Два года гарантии, более длительный срок службы благодаря усовершенствованному нагреву защита концепции и манометра

Не требуется длительная повторная калибровка благодаря превосходной стабильности и повторяемости сигнала даже в суровых плазменных условиях

Соответствие и стандарты: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Типичные области применения

Травление, CVD, PVD и другие процессы производства полупроводников

Химические и коррозионные высокотемпературные процессы

Общие тонкопленочные и вакуумные процессы, требующие защиты манометра