INFICON High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge HPG400

Прибор INFICON с горячей ионизацией высокого давления HPG400 сочетает в себе датчики горячей ионизации высокого давления и Пирани в одном компактном экономичном корпусе для измерения давления от 2×10-6 мбар до атмосферного. (1,5×10-6 Торр в атмосферу).

Прибор HPG400 обеспечивает высокую повторяемость и воспроизводимость измерения давления. для точного контроля давления в процессе распыления.

Преимущества

HPG400 экономит затраты и пространство для инструментов и снижает сложность установки и настройки вакуумной системы.

Датчик горячих ионов высокого давления обеспечивает точные и надежные измерения давления от 1×10-5 … 1 мбар для улучшения управления процессом

Выбираемая пользователем активация эмиссии горячих ионов в диапазоне от 5×10-2 до 1 мбар

Блокировка Пирани защищает горячую нить от преждевременного перегорания

Доступны дополнительный графический дисплей и интерфейсы Fieldbus

Автоматическая регулировка Пирани при высоком вакууме снижает вмешательство оператора

Соответствие RoHS

Типичные области применения

Применения напыления в производстве полупроводников, электронике и медиаиндустрии

Промышленное покрытие

Общее измерение и контроль вакуума в диапазоне от низкого до высокого вакуума