INFICON Edge CDG100D2 Capacitance Diaphragm Gauge

Мембранный манометр INFICON Edge — это высокоточный прибор для измерения вакуума, предназначенный для суровых производственных условий.

Проверенная температура, устойчивость к коррозии, ультра Датчик из чистой керамики обеспечивает превосходную стабильность диапазона в течение многих лет в сочетании с современной стабильностью нуля. Edge поставляется с запатентованным уникальным сенсорным экраном INFICON, который защищает датчик от нежелательных побочных продуктов процесса. Усовершенствованная электроника предлагает широкий спектр настраиваемых средств формирования сигнала для всех приложений и дополнительный интерфейс полевой шины EtherCAT.

Инновационная концепция обогрева обеспечивает прохладу сенсорная поверхность и экономит ценное пространство для инструментов. INFICON Edge — самый маленький в своем роде прибор для измерения вакуума.

Преимущества

Компактность, экономит ценное пространство для инструментов

Простая интеграция, EtherCAT, широкий выбор полноразмерных шкал и фланцев, в стандартной комплектации с двумя заданными точками

Легкая кнопка или дистанционная команда обнуления сигнала, регулировка смещения нуля

Диагностический порт для быстрого обслуживания и техническое обслуживание

Два года гарантии, более длительный срок службы благодаря усовершенствованной концепции нагрева и защите манометров

Не требуется длительная повторная калибровка благодаря превосходной стабильности и повторяемости сигнала даже в суровых плазменных условиях.

Соответствие и стандарты: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Типичные области применения

CVD, травление, PVD и другие процессы производства полупроводников