Анализатор остаточных газов INFICON Transpector CPM 3

Новинка
Модель:
42974
Артикул:
Transpector CPM 3

ЕСТЬ В НАЛИЧИИ

0.00 LEI


Производительность, надежность и универсальность

INFICON Transpector CPM является ведущим на рынке анализатором остаточных газов (RGA). ) система мониторинга процессов в полупроводниковой промышленности уже более десяти лет. Теперь Transpector CPM 3 обеспечивает лучшую в отрасли скорость и чувствительность измерений благодаря проверенной на практике системе накачки и впуска, интегрированной с новым датчиком и электроникой. Transpector CPM 3 — идеальный монитор процессов RGA для новых и уже существующих полупроводниковых процессов, таких как ALD, CVD, PVD и травление.


Transpector CPM 3 обеспечивает проверенную рентабельность инвестиций для наших партнеров за счет:

< br>

Лидирующая в отрасли технология измерений

Надежная и адаптивная архитектура

Надежная и адаптивная архитектура

Простота обслуживания

Превосходная поддержка продуктов

Функции

Анализатор остаточных газов для ALD, травления, CVD и 300-мм дегазации — обеспечивает процесс в режиме реального времени мониторинг и анализ

ALD-Ready со скоростью измерения 1,8 мс на точку (555 точек в секунду)

< font size="3">Проверенная на практике долговечность и надежность в самых требовательных приложениях CVD и травления

Интеграция приложений — Transpector CPM становится мощным средством мониторинга процессов и инструмент диагностики при интеграции с программным обеспечением FabGuard и поддержке экспертами мирового класса INFICON

Компактный размер — позволяет легко интегрировать в производственное полупроводниковое оборудование

Hexblock™ с тремя входами давления и уменьшенной площадью поверхности для минимизации поверхностных реакций и времени срабатывания

Мембранный емкостный манометр (CDG) — CDG позволяет пользователю контролировать технологическое давление и автоматически защищать систему от скачков давления.

Автоматическая калибровка — обеспечивает долгосрочная стабильность и точность данных при согласовании датчиков и инструментов друг с другом

Отзывов: 0
Пожалуйста авторизируйтесь или создайте учетную запись перед тем как написать отзыв
Мы используем файлы cookie для улучшения наших услуг и более удобного использования браузера пользователями. Оставаясь на нашем сайте, вы соглашаетесь с использованием файлов cookie
0
0