INFICON single Bayard-Alpert Hot Ion Gauge BAG402
InfiCON unic Bayard-Alpert Hot Ion Gauge BAG402 acoperă o gamă largă de măsurare de la 5×10-10 mbar la 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr la 5× 10-2 Torr). Alegeți INFICON BAG402 pentru un proces accesibil și repetabil pentru măsurarea presiunii de bază într-un pachet compact de manometru activ.
Filamentele duble unice, acceptate, oferă o precizie superioară , stabilitate pe termen lung și longevitate.
Avantaje
Interval de măsurare de la 5×10 -10 mbar la 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr la 5×10-2 Torr)
Repetabilitate excelentă în presiunea procesului interval de la 10-8 … 10-2 mbar de 5%
Detecția suprapresiunii protejează filamentul de arderea prematură
Două filamente de iridiu acoperite cu oxid de ytriu cu durată lungă de viață
Selectarea automată a curentului de emisie reduce complexitatea controlului p>
Element de detectare ușor de schimbat cu datele de calibrare la bord garantează o reproductibilitate ridicată
Conformitatea RoHS
font>Aplicații tipice
Măsurarea presiunii în procesele semiconductoare și în camerele de transfer
Acoperire industrială
Măsurarea și controlul general al vidului în intervalul de vid scăzut până la ultra ridicat< /font>