INFICON IE414 high-end vacuum sensor

IE414 și IE514 sunt senzori de vid de ultimă generație bazați pe efectul de ionizare cu catod fierbinte. IE414 este un manometru Bayard-Alpert, în timp ce IE514 se bazează pe principiul extractorului. Aceste manometre pasive sunt combinate și controlate de controlerul de vacuometru IM540.

Mulțumită modulării curentului de emisie a catodului , domeniul de măsurare IE414 se întinde pe 10 decenii de la 10-2 mbar până la 10-11 mbar. Principiul extractorului permite ca IE514 să atingă o limită inferioară de măsurare de 2×10-12 mbar datorită reducerii sale intrinseci a efectelor de desorbție a razelor X și a ionilor. Capetele de măsurare IE414 și IE514 sunt proiectate pentru sisteme de vid cu degajare redusă de gaze și pot fi coapte la temperaturi extrem de ridicate (400 °C). Setul de cabluri rezistent la temperatură pentru cap de măsurare este, de asemenea, proiectat pentru temperatură ridicată de coacere, care depășește 200 °C (250 °C la flanșa senzorului).

Avantaje

Precizie mare a măsurătorilor datorită sistemului de detectare calibrat individual

Catod schimbabil

Coacerea la temperaturi extrem de ridicate până la 400 °C

IE414

Principiul de detectare Bayard-Alpert

Interval de măsurare la 2×10-11 mbar

Modularea curent de emisie catodică (în combinație cu controlerul de vacuometru IM540)

IE514

Principiul de detectare a extractorului

Limita cea mai joasă de măsurare, până la 2×10-12 mbar

Reducere semnificativă a efectelor de desorbție a razelor X și a ionilor

Aplicații tipice

Aplicații științifice și de cercetare și dezvoltare care necesită măsurare precisă a vidului în intervalul de vid ultra-înalt și coacere la temperaturi înalte

Unități de operare

Controler de vacuum IM540