INFICON Augent Optical Plasma Gauge

InfiCON Augent Optical Plasma Gauge este o soluție compactă și inteligentă pentru monitorizarea vidului.

Augent combină două tehnologii de senzori într-un singur dispozitiv compact pentru monitorizarea tipului de gaz de la 1 x 10-7 până la 5 mbar și pentru măsurarea presiunii totale de la 1 x 10-7 mbar în atmosferă în același timp. Augent este protejat de un senzor Pirani integrat pentru a opri plasmă peste 20 mbar. Principiul de măsurare optică rapidă permite detectarea în principiu a oricărui tip de gaz.

< font size="3">Avantaje

Detecția scurgerilor de mare viteză permite testarea scurgerilor în cameră

Creșterea productivității și a randamentului

Durată lungă de viață, fără arsuri de filament, protecție la pătrunderea aerului

Rezistă la chimia procesului

Algoritm inteligent pentru o integrare ușoară

Design compact și amprentă redusă

Pornire fiabilă și rapidă

Aplicații tipice

Verificarea scurgerilor camerei, test RoR (rata de creștere) mai rapidă

Verificarea scurgerilor pentru a găsi scurgeri interne de la liniile de alimentare cu gaz

Controlul punctului final în timp real

< font size="3">Controlul tipului de gaz și al concentrațiilor