INFICON High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge HPG400

Manometrul Pirani de ionizare la cald de înaltă presiune INFICON, HPG400, combină ionizarea la cald de înaltă presiune și senzorii Pirani într-un singur pachet compact, economic pentru a măsura presiunea de la 2×10-6 mbar la atmosferă (1,5×10-6 Torr la atmosferă).

HPG400 asigură măsurarea presiunii foarte repetabilă și reproductibilă pentru controlul precis al presiunii în procesul de pulverizare.

Avantaje

HPG400 economisește costuri și spațiul pentru scule și reduce complexitatea instalării și instalării sistemului de vid

Manometrul de ioni fierbinți de înaltă presiune oferă măsurători precise și fiabile ale presiunii de la 1×10-5... 1 mbar pentru un control îmbunătățit al procesului

Activarea emisiei de ioni fierbinți selectabilă de utilizator între 5×10-2 și 1 mbar

Interblocarea Pirani protejează filamentul fierbinte de arderea prematură

Afișaj grafic opțional și interfețe Fieldbus disponibile

Ajustarea automată a vidului înalt Pirani reduce intervențiile operatorului

Conformitatea RoHS

Aplicații tipice

Aplicații pulverizare în fabricarea semiconductoarelor, în industria electronică și media

Acoperire industrială

Măsurarea și controlul general al vidului în intervalul de vid scăzut până la înalt p>