INFICON Bayard-Alpert Pirani Combination Gauge BPG400

Gaimetrul combinat INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG400, funcționează ca două manometre într-o singură unitate compactă care măsoară de la 5×10-10 mbar la atmosferă (3,8×10-10 Torr la atmosferă ).

Combinarea tehnologiilor reduce complexitatea instalării, instalării , și integrare. Alegeți BPG400 pentru un proces accesibil și repetabil pentru a baza măsurătorile presiunii într-un singur pachet economic.

Avantaje

Interval de măsurare extrem de larg de la 5×10-10 mbar la atmosferă (3,8×10-10 Torr la atmosferă)

Repetabilitate excelentă în intervalul de presiune de proces de la 10-8 … 10-2 mbar de 5%

Interblocarea Pirani protejează sistemul Bayard-Alpert de arderea prematură a filamentului și contaminare în exces de la operarea la presiune înaltă

Filament de iridiu acoperit cu oxid de ytriu de durată lungă

Ajustarea automată a vidului mare Pirani reduce intervențiile operatorului

Conformitate RoHS

Măsurarea și controlul general al vidului în intervalul de vid scăzut până la ultra ridicat

Aplicații tipice

Măsurarea presiunii în procesele semiconductoare și în camerele de transfer

Acoperire industrială

Măsurarea și controlul general al vidului în intervalul de vid scăzut până la ultra ridicat