INFICON Bayard-Alpert Pirani Capacitance Diaphragm Gauge BCG450
InfiCON Bayard-Alpert Pirani Capacitance Diafragm Gauge (Triple-Gauge™), BCG450, combină avantajele a trei tehnologii diferite într-un singur pachet compact, economic pentru a măsura presiunea de bază și de proces de la 5×10-10 la 1500 mbar (3,75×10-10 la 1125 Torr).
BCG450 este conceput pentru a lua locul trei senzori (ion fierbinte, Pirani cu convecție îmbunătățită și comutator de vid), reducând astfel costurile și spațiul valoros pentru instrumente.
Disponibil și cu interfața digitală Profinet.
Avantaje
BCG450 economisește costuri și spațiu pentru instrumente și reduce complexitatea instalării și configurării măsurătorilor de vid
Presiune independentă de tipul de gaz măsurarea peste 10 Torr oferă un control mai fiabil al blocării pentru orice amestec de gaz
Interblocarea Pirani protejează filamentul fierbinte de arderea prematură
< p>Ajustarea automată a vidului înalt Pirani reduce intervențiile operatoruluiMăsurarea presiunii diferențiale la atmosferă elimină incertitudinea legată de modificările presiunii atmosferice< /font>
Elementul senzorial ușor de schimbat cu date de calibrare la bord garantează reproductibilitatea
Conformitate RoHS
Tipic aplicații
Măsurarea presiunii în procesele semiconductoare, camerele de transfer și blocarea sarcinii
Industrial acoperire
Măsurarea și controlul general al vidului pe sisteme din intervalul de vid scăzut până la ultra ridicat
