Analizor de gaze reziduale INFICON Transpector SPS
Analizorul de gaze reziduale INFICON Transpector® pentru eșantionare unică de presiune (SPS) oferă cea mai bună protecție pentru semiplachete și panouri de afișare pentru procesele vizate de înaltă presiune. Transpector SPS minimizează deșeurile de napolitane și panouri cu cea mai sensibilă detectare a scurgerilor de aer și a contaminării procesului pentru aplicații cu o singură presiune. Oferă atât limitele de detectare, cât și vitezele de măsurare, cele mai bune din industrie, pentru a asigura atât calitatea, cât și numărul de ieșiri ale panourilor și ale panourilor.
Transpector SPS maximizează debitul și randamentul procesului, oferind cea mai fiabilă monitorizare a procesului pentru procese stabile, de înaltă presiune. Instrumentul combină un sistem de admisie simplu și eficient din punct de vedere al costurilor, cu o sursă de ioni dovedită pe teren și un pachet de pompare pentru a oferi o soluție de analiză a gazelor cu risc scăzut și cu recompensă ridicată. Ideal pentru vid general și aplicații industriale, Transpector SPS este o soluție dovedită pentru aplicații de metalurgie și tratare termică, cum ar fi retopirea cu arc în vid (VAR). Transpector SPS este configurabil și poate fi adaptat pentru aplicații și bugete specifice. Combinațiile standard de orificii, capilare și linii de derivație pot fi selectate pentru presiunile procesului de eșantionare de la 1E-4 Torr la atmosferă. Admisia rezistentă la coroziune, sursa de ioni și pachetul de pompare sunt proiectate pentru supraviețuire în procese de gravare, CVD, ALD și alte procese agresive de gaz.
Avantaje
Reduceți la minimum costul total de proprietate pentru protecția plăcilor și a panourilor cu o singură intrare de prelevare a probei; Ideal pentru procese de înaltă presiune, cum ar fi difuzie, epitaxie și RTP
Oferă cel mai scăzut nivel de detectare a scurgerilor de aer și a contaminării pentru procese de înaltă presiune constantă
Integrare perfectă fără întreruperi și interdicție fiabilă prin achiziție și sincronizare puternică a datelor
Îmbunătățește capabilitățile unice de producție cu optimizare personalizată a rețetei
Protejează nevoile critice ale procesului cu răspuns imediat la fața locului din partea experților
Aplicații tipice
Procese PVD
Procese de difuzie și epitaxie
Procese de gravare, inclusiv: metal, dielectric, siliciu, HDP-etch
