Analizor de gaze reziduale INFICON Transpector CPM 3
Performanță, fiabilitate și versatilitate
INFICON Transpector CPM a fost cel mai important analizor de gaz rezidual (RGA) pe piață. ) sistem de monitorizare a proceselor în industria semiconductoarelor de peste un deceniu. Acum, Transpector CPM 3 oferă viteză și sensibilitate de măsurare de vârf în industrie printr-un sistem de pompare și admisie dovedit pe teren, integrat cu un senzor și electronică noi. Transpector CPM 3 este monitorul de proces RGA ideal pentru procesele semiconductoare noi și consacrate, cum ar fi ALD, CVD, PVD și Etch.
font>
Transpector CPM 3 oferă partenerilor noștri rentabilitate dovedită a investiției prin:
< br>
Tehnologie de măsurare de vârf în industrie
Arhitectură robustă și adaptabilă
Ușurință de întreținere
Suport superior pentru produse
Caracteristici
Analizor de gaz rezidual pentru ALD, Etch, CVD și degazare de 300 mm—permite procesul în timp real monitorizare și analiză
ALD-Ready cu viteza de măsurare de 1,8 ms per punct (555 puncte pe secundă)
< font size="3">Durabilitatea și fiabilitatea dovedite pe teren în cele mai solicitante aplicații CVD și Etch
Integrarea aplicației—Transpector CPM devine un puternic proces de monitorizare și instrument de diagnosticare atunci când este integrat cu software-ul FabGuard și este susținut de experți în aplicații de clasă mondială INFICON
Dimensiune compactă—permite integrarea ușoară în echipamentele semiconductoare de producție
Hexblock™ cu până la trei prize de presiune și suprafață redusă pentru a minimiza reacțiile la suprafață și timpii de răspuns
Calibre de capacitate cu diafragmă (CDG)—CDG permite utilizatorului să monitorizeze presiunea procesului și să protejeze automat sistemul de excursii de presiune
Calibrarea automată - asigură stabilitate și acuratețe a datelor pe termen lung pentru potrivirea senzor cu senzor și instrument cu camera de scule
