Analizor de gaze reziduale INFICON Transpector XPR 3+

Monitorizați și controlați modificările rapide ale procesului

Noul analizor de gaz rezidual (RGA) Transpector XPR 3+ oferă viteze de măsurare de vârf pentru a monitoriza și controla schimbările rapide ale procesului necesare pentru fabricarea modernă a semiconductorilor și a afișajelor. Transpector XPR 3+ este ideal pentru monitorizarea in situ a scurgerilor de aer, a purității gazului, a hidrocarburilor și a contaminării. Măsurarea în timp real cu Transpector XPR 3+ oferă o protecție mult superioară a produsului în comparație cu testele periodice ale ratei de creștere.

< /span>

Mărirea profitabilității prin maximizarea timpului de funcționare a instrumentului

Transpector XPR 3+ RGA este un senzor cvadrupol și sursă duală de ioni dovedit în câmp pentru aplicații în domeniul de presiune de pulverizare. Nu este necesar nici un echipament de conversie a presiunii, componente cu durată lungă de viață și capacitatea de a detecta și diagnostica rapid problemele se combină pentru a maximiza disponibilitatea sculelor, randamentul și randamentul produsului. Senzorul poate fi operat continuu de la vid inalt pana la 20 mTorr, fara a fi nevoie de pompe. Camerele sursei duble de ioni Transpector XPR 3+ sunt proiectate pentru a limita acoperirea pentru a menține sensibilitatea sursei de ioni și pentru a extinde timpul mediu al senzorului până la întreținere.

Avantaje

Avantaje

font>

Protecție în timp real a plăcilor și a panourilor datorită scurgerii de aer cu sensibilitate ridicată și detectării contaminării de la vid înalt până la presiunile de proces PVD

Maximizați eficiența PM și timpul de funcționare al sculei, cu o calificare rapidă și fiabilă a camerei

Minimizați costul total de proprietate cu o durată de viață mai lungă, design rezistent la contaminare, sursă duală de ioni; monitorizează până la 20 mTorr fără a fi nevoie de pompe. Varianta EM de joasă presiune oferă o alternativă sensibilă la costuri

Integrare perfectă fără întreruperi și interdicție fiabilă prin achiziție și sincronizare puternică a datelor

Îmbunătățiți capacitățile unice de producție cu optimizarea personalizată a rețetelor

Protejează nevoile critice ale procesului cu răspuns imediat la fața locului din partea experților

Aplicații tipice

Module PVD și proces de pulverizare