INFICON PPG570 Pirani Piezo combination gauge

Noul indicator combinat INFICON Pirani Piezo (PPG570) se bazează pe cea mai avansată tehnologie de senzori MEMS (sisteme microelctromecanice) disponibilă, care este folosită și în manometrul nostru PPG550 „ATM to Medium Vacuum” .

Ceea ce diferențiază PPG570 de PPG550 este senzor ATM instalat care permite utilizarea PPG570 în aplicațiile clasice de blocare a sarcinii. De exemplu, în industriile semiconductoare sau în orice alte aplicații de vid în care măsurarea precisă a presiunii în raport cu presiunea atmosferică ambientală este importantă.

Tehnologia de combinație Pirani/ Piezo miniaturizată în Procesul MEMS permite construirea unui senzor foarte mic, care economisește spațiu, ceea ce face posibilă menținerea înălțimii totale a dispozitivului de măsurare foarte mică.

Pe lângă avantajul înălțimii reduse , un Pirani bazat pe tehnologia MEMS oferă și avantajul de a măsura mai profund și mai precis în gama HV decât un Pirani clasic. În combinație cu un senzor piezo MEMS, montat în aceeași flanșă, manometrul Pirani devine un adevărat manometru cu gamă largă de vid, extinzând domeniul de măsurare cu mult peste cei obișnuiți 1000 mbar, tot spre atmosferă. În același timp, senzorul piezo MEMS asigură măsurarea presiunii independentă de tipul de gaz în intervalul 2 ... 1333 mbar. Un alt avantaj al tehnologiilor menționate este rezistența crescută la forțele de accelerație și vibrații.

Nu în ultimul rând, noul INFICON PPG570 poate poate fi utilizat pentru a introduce direct în înlocuirea așa-numitului MKS Instruments MKS901P „MicroPirani™ and Piezo Loadlock Vacuum Pressure Transducer”. PPG570 oferă aceleași conectori/alocare pini, ieșire analogică și compatibilitate cu protocolul de comunicație digital RS232/485.

Avantaje

Independent de tipul de gaz peste 2 mbar – permite aerisirea sigură cu orice amestec de gaze

Precizie ridicată și reproductibilitate în atmosferă – pentru detectarea fiabilă și rapidă a presiunii atmosferice

Măsurarea presiunii ambientale atmosferice

Până la 3 relee cu stare solidă

Versatil de orientare a montajului – oferă libertate inginerească în proiectarea sculelor

Semnal de ieșire analogic selectabil pentru o integrare ușoară a sistemului

Capabil să scadă direct în înlocuirea MKS901P „MicroPirani™ - și Piezo Loadlock Vacuum Pressure Traductor”.

Conformitate și standarde: CE, EN, UL, CSA, RoHS

Aplicații tipice

Aplicații de blocare a sarcinii semiconductorilor

Utilizare în echipamente analitice / sepctometre de masă

Depunerea fizică de vapori

Depunerea fizică de vapori