INFICON SKY CDG025D-X3 Capacitance Diaphragm Gauge

Linia de manometre cu diafragmă de capacitate INFICON SKY CDG025D de manometre de mare precizie compensată cu temperatură este proiectată pentru performanțe stabile în medii dure de scule de producție.

Electronica digitală avansată îmbunătățește performanța manometrului și oferă facilități caracteristici de manipulare, cum ar fi funcția zero cu un singur buton și reglarea punctului de referință. Senzorul ceramic rezistent la coroziune oferă o stabilitate excelentă la zero, cu o durată lungă de viață de câteva milioane de cicluri de presiune, inclusiv exploziile atmosferice. O ecranare unică a senzorului (în curs de brevet) protejează indicatorul de contaminarea procesului.

Un design mecanic robust și o electronică digitală îmbunătățesc EMC compatibilitate, stabilitate pe termen lung și compensare a temperaturii. CDG025D stabilește noi standarde pentru stabilitate rapidă după pornire și recuperare rapidă după expunerea la presiunea atmosferică.

Avantaje

Scara completă variază de la 100 mTorr … 1000 Torr

Stabilitate rapidă după pornire

Senzor ceramic rezistent la coroziune

< font size="3">Stabilitate excelentă a semnalului pe termen lung

Temperatura compensată

Senzor protejat de contaminare

Funcția zero cu un singur buton

Gamă largă sursă de alimentare

Aplicații tipice

Echipamente de fabricare a semiconductorilor pentru Etch, CVD, PVD, ALD

Echipamente de stocare a datelor și de producție de afișare

Echipamente industriale de vid

Măsurarea generală a presiunii de mare precizie