Spectrometrul de masă analitic INFICON QMG 700

Avansările rapide în tehnologia de fabricare a semiconductorilor se bazează pe soluții rapide și de încredere de analiză a gazelor. În fabrică sau în laborator, selectați spectrometrul de masă analitic INFICON QMG 700 pentru a depăși barierele de detectare și pentru a vă propulsa procesul la următorul nivel de inovație. QMG 700 oferă performanță și adaptabilitate de neegalat într-un design modular. Îmbunătățiți-vă avantajul competitiv cu QMG 700 și atingeți un nivel superior de capacitate de măsurare.

Selectați dintr-o gamă largă de opțiuni de sursă de ioni, filtru de masă și surse de alimentare RF, pentru a vă adapta QMG 700 la aplicații specifice. QMG 700 se mândrește cu peste nouă decenii de interval dinamic și limite de detecție ppb, făcându-l instrumentul ideal pentru măsurători de vid ultra-înalt. QMG 700 oferă rezoluție unitară în întreaga sa gamă de masă și rezoluție chiar mai mare pentru mase mici. Instrumentul este o opțiune excelentă pentru cele mai dificile măsurători, inclusiv analize izotopice, cum ar fi separarea heliului și a deuteriului. Controlați-vă procesul cu QMG 700 și bazați-vă pe stabilitatea sa superioară pe termen lung pentru a proteja măsurătorile critice.

Peste patruzeci de ani de excelență în spectrometria de masă analitică la INFICON asigură că QMG 700 este alegerea potrivită pentru următoarea investiție în analiza gazelor. Pentru acuratețe consecventă și rezultate precise, vă puteți baza pe INFICON QMG 700 și pe expertiza noastră în aplicații la nivel mondial.

Caracteristici

Peste nouă decenii de gamă dinamică p>

Viteze de măsurare extrem de rapide: 0,125 ms/amu

MDPP < 10E-16 mbar

Rezoluție înaltă în întreaga gamă de masă: Masele 1, 2 și 3 pot fi separate clar în intervalul ppb

Opțiuni multiple de surse de ioni diferite

Opțiuni de multiplicare de electroni din dinod discret sau continuu

Opțiune IO: 8 intrări/ieșiri analogice și 32 intrări/ieșiri digitale

Software puternic cu interfață flexibilă și ușor de utilizat< /p>

Aplicații tipice

Spectrometrie de masă cu descărcare în gaz

Detectarea punctului final

Monitorizarea materialului de depunere