INFICON SKY CDG100D Capacitance Diaphragm Gauge

Manometrele INFICON SKY CDG100D sunt cea mai bună alegere pentru măsurarea și controlul precis al presiunii totale.

Manometrele CDG100D sunt controlate de temperatură la 100 °C pentru performanțe superioare în procese solicitante de semiconductor și plasmă. Sunt disponibile pentru intervale de scară completă de la 100 mTorr la 1000 Torr, cu toate tipurile obișnuite de flanșe și interfețe fieldbus și oferă un semnal de presiune liniar de la 0 la 10 V, independent de tipul de gaz. Manometrele de capacitate INFICON folosesc o diafragmă ceramică de alumină ultra pură care este rezistentă la coroziune.

Avantajele senzorului ceramic sunt semnal mai bun stabilitate, recuperare mai rapidă din atmosferă, timp scurt de încălzire și o viață extraordinară. INFICON CDG sunt senzori de presiune de înaltă calitate, rentabili, pentru aplicații solicitante cu semiconductori, plasmă și vid.

Avantaje

< font size="3">CoO (cost de proprietate) mai scăzut), încălzire cu 50% mai rapidă, consum redus de energie eficient

Integrare ușoară, varietate mare de scale complete, flanșe și interfețe, standard cu două puncte de referință

Ușor un buton sau comandă zero semnal de la distanță, offset zero reglabil< /p>

Port de diagnosticare pentru service și întreținere rapid

Doi ani garanție, durată de viață mai lungă cu încălzire avansată protecția conceptului și a calibrului

Fără recalibrare pe termen lung datorită stabilității și repetabilității excelente a semnalului, chiar și în aplicații dure cu plasmă

Conformitate și standarde: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Aplicații tipice

Etch, CVD, PVD și alte procese de producție de semiconductor

Procese chimice și corozive la temperatură înaltă

General film subțire și procese de vid care necesită protecție gabarit