INFICON Bayard-Alpert Pirani Combination Gauge BPG402-S

Gaimetrul combinat INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG402-S, funcționează ca două manometre într-o singură unitate compactă care măsoară de la 5×10-10 mbar la atmosferă (3,8×10-10 Torr spre atmosferă).

Combinarea tehnologiilor reduce complexitatea instalării, instalării , și integrare. Alegeți BPG402-S cu două filamente de iridiu acoperite cu oxid de ytriu pentru un proces accesibil și repetabil pentru măsurarea presiunii de bază într-un singur pachet economic. Elementele de detectare cu date de calibrare la bord garantează o reproductibilitate ridicată la schimbarea senzorilor.

Disponibil și cu interfața digitală EtherCAT!

Avantaje

Interval de măsurare extrem de larg de la 5×10-10 mbar la atmosferă (3,8×10-10 Torr la atmosferă)

Repetabilitate excelentă în proces interval de presiune de la 10-8 … 10-2 mbar de 5%

Pirani interlock protejează filamentul de arderea prematură

Afișaj grafic opțional și interfețe Fieldbus disponibile< /p>

Ajustarea automată a vidului înalt Pirani reduce intervențiile operatorului

Element de detectare ușor de schimbat la bord datele de calibrare garantează o reproductibilitate ridicată

Conformitatea RoHS

Aplicații tipice

Măsurarea presiunii în procesele semiconductoare și în camerele de transfer

Acoperire industrială< /p>

Măsurarea și controlul general al vidului în intervalul de vid scăzut până la ultra ridicat