Analizor optic de gaze INFICON Quantus HP100

Analizorul de gaz INFICON Quantus HP100 se bazează pe tehnologia Self-Plasma Optical Emission Spectroscopy (SPOES) și este conceput pentru a oferi detectarea în timp real a scurgerilor, detectarea punctului final și monitorizarea procesului în timpul producției de semiconductori. Quantus HP100 are o sensibilitate excelentă, un factor de formă compact și oferă o gamă largă de presiune operațională fără pompe costisitoare, ceea ce îl face foarte potrivit pentru monitorizarea procesului și protecția în majoritatea uneltelor semiconductoare.

Caracteristici

Interval de funcționare de 1 Torr – 450 Torr pentru argon și 1 Torr – 120 Torr pentru azot (variază pentru alte specii de gaze)

Limite scăzute de detecție <1 ppm

Instalare ușoară folosind o conexiune KF25 standard< /font>

Eșantionare rapidă (20 Hz maxim)

Amprentă mică (înălțime x lățime) x L): 162 x 153 x 210 mm [6,4 x 6,0 x 8,3 inchi]

Întreținere redusă, nu necesită pompe sau consumabile

Plamocelulă convenabilă care poate fi înlocuită pe teren

Suport de experți la nivel mondial pentru nevoile dvs. specifice de proces